MEMS掃描鏡是一種的矢量掃描設(shè)備，能使入射光束按照特定的方式與時間順序發(fā)生反射，從而在像面上實現(xiàn)掃描成像.傳統(tǒng)的MEMS掃描鏡體積大、成本高，且多為散裝，大大限制了其應(yīng)用。相較于傳統(tǒng)的掃描鏡，MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低、掃描頻率高、響應(yīng)速度快和功耗低等優(yōu)點，以被廣泛的應(yīng)用在光通信、掃描成像、激光雷達、內(nèi)窺鏡、3D掃描成像等領(lǐng)域。

MEMS掃描鏡按照掃描維度不同，可以分為一維掃描鏡和二維掃描鏡，一維掃描鏡是指在鏡面在一個維度內(nèi)偏轉(zhuǎn)，二維掃描鏡是指沿著兩個方向同時對光束進行調(diào)節(jié)。實現(xiàn)二維掃描，可以選用兩個一維的掃描鏡，也可以選用兩個一個二維的掃描鏡。相比較而言二維掃描鏡功能更強大，但是結(jié)構(gòu)也更復(fù)雜，控制的難度也就越大。

MEMS掃描鏡按照驅(qū)動方式的不同，可以分為靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、壓電驅(qū)動和電熱驅(qū)動四種驅(qū)動方式。電熱驅(qū)動是，利用電能轉(zhuǎn)換為熱能，再轉(zhuǎn)換為機械能驅(qū)動，其優(yōu)點是驅(qū)動力和驅(qū)動位移較大，但是響應(yīng)速度較慢。壓電驅(qū)動是利用壓電材料的壓電效應(yīng)實現(xiàn)驅(qū)動，具有驅(qū)動力大、響應(yīng)速度快等優(yōu)點，但是壓電材料存在遲滯現(xiàn)象。電磁驅(qū)動是利用電磁或者永磁體實現(xiàn)驅(qū)動，具有較大的驅(qū)動力力和驅(qū)動位移，但是響應(yīng)速度偏慢，且容易受到電磁干擾。靜電驅(qū)動是利用帶電導(dǎo)體間的靜電作用力實現(xiàn)驅(qū)動，具有功耗低、速度快、兼容性好等優(yōu)點。是目前使用zui廣泛的驅(qū)動方式。