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應用領域	電子/電池	軟件	高壓發(fā)生器

全功能X射線顯微鏡

研究型X射線顯微鏡XROS MF30，使用具有比可見光短的波長的X射線作為探針，獲得具有高空間分辨率的圖像。此系統(tǒng)也集成光學顯微鏡，X射線攝影，局部元素XRF微分析，元素mapping等功能。

全功能X射線顯微鏡特點：

微焦點X射線管

用于X射線波束形成的可變光束尺寸的聚毛細管透鏡

一組基本的輻射濾波器

攝像機用于選擇分析區(qū)域

用于分析區(qū)域調(diào)查的光學數(shù)碼顯微鏡

光學顯微鏡軸線與x射線探針軸線相結合

工作距離的自動選擇系統(tǒng)

自動X、Y坐標取樣臺，用于分析區(qū)域的定位和掃描

分析單元沿Z軸的自動移動

射線檢查用探測器

用于局部XRF分析的硅漂移檢測器

用于分析輕元素的真空測量室

內(nèi)置的自動X光管水冷卻系統(tǒng)

全功能X射線顯微鏡

軟件：

高壓發(fā)生器
采樣和波束定位
真空

局部元素分析與元素填圖

用一個經(jīng)認證的樣品進行校正
一個校準曲線與幾個認證的樣品
特征線能量和強度的測定
定性半定量分析(基本參數(shù)法)
從光譜庫中尋找類似物進行光譜比較
用戶定義樣例區(qū)域的元素映射mapping
光譜和映射結果存儲到數(shù)據(jù)文件
對存儲的光譜進行比較，減法，歸一化
在光學和射線圖像上疊加光譜映射圖像結果
自動分析在用戶定義的點的樣本

X射線攝影

數(shù)字亮度和對比度控制
縮放
測量圖像點間的距離

記錄和數(shù)據(jù)存儲

在數(shù)據(jù)庫中存儲圖像
保存測量結果并導出到其他Windows程序
數(shù)字化圖像記錄到外部媒體
圖像和協(xié)議打印

全功能X射線顯微鏡

一組可更換輻射濾光片(12個)
X射線管
內(nèi)置水冷系統(tǒng)
硅漂移探測器
回看攝像機
光學顯微鏡軸與微探針軸結合(銳度自動調(diào)節(jié))
光學顯微鏡(手動調(diào)整銳度)
樣品臺(XY位移，精度10um)

束源
微焦點X射線管:
X射線管zui大電壓	45 kV
X射線管zui大功率	500 W
陽極材料	Mo, other by request
用于X射線波束形成的可變光束尺寸的聚毛細管透鏡 X射線光束直徑	30 - 1 000 μm
一組基本的光束濾波器	Zr, Ti, Mo, Ag, Al, Cu, Cl

光學研究

光學數(shù)字顯微鏡：

大變焦

200х

樣品定位和mapping
用攝像機選擇分析區(qū)域
光學顯微鏡結合X射線探頭的軸線來控制分析區(qū)域
樣品和探針移動系統(tǒng)：
工作距離自動選擇系統(tǒng)
分析單元沿Z軸移動
Z軸定位精度	12 μm
一個自動階段的XY對象定位和掃描在一個用戶定義的樣本區(qū)域XY定位精度	10 μm
zui大掃描區(qū)域	150x150 mm
zui大樣品尺寸	300х210х100 mm
zui大樣品重量	1 kg

X射線熒光分析
局部元素分析用能量色散半導體探測器
硅漂移探測器 (SDD)
在Mn線Kα上的探測器的能量分辨率	<150 eV
光譜范圍	1 - 40 keV
zui大計數(shù)率	1 000 000 cps
濃度范圍	from 1 ppm to 100%

X射線攝影

用于射線照相研究的通過樣本輻射傳輸?shù)狞c探測器(可選ccd探測器)

分析單元
電源	230 V, 50 Hz
Size (W x D x H)	615 x 665 x 650 mm
Weight	85 kg

全功能X射線顯微鏡

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