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品牌	昊量光電	產地類別	進口
應用領域	綜合

XVS系列高精度納米級垂直定位臺采用單Crossfixx™超聲壓電電機驅動，適用于光學對準、真空腔體精密定位。

XVP系列工業級高負載垂直定位臺采用雙Crossfixx™超聲壓電電機并聯，負載2.5kg，適用于重型裝配、高速檢測等場景。

高精度垂直壓電位移臺優勢

大行程10-50mm
分辨率5-1250nm
重復精度50-80nm
大負載可達2.5kg

XVS系列高精度垂直壓電位移臺核心參數表

型號	行程范圍 (mm)	驅動力（N）	分辨率 (nm)	重復精度 (nm)	速度（max）(mm/s)
XVS-1-40	25(SC版30)	1	1250/312/78/5	±80(單向) / ±160(雙向)	100(真空50)
XVS-3-40	25(SC版30)	3
XVS-3-60	40(SC版48)	3
XVS-3-80	50(SC版69)	3			50(真空25)
環境使用要求	工作溫度-30℃~+70℃ 濕度要求20%-90% RH

XVS系列垂直位移臺

·定位：高精度納米級垂直定位平臺，為輕載精密應用設計。

·核心特點：

·采用單Crossfixx™超聲壓電電機，實現無振動、靜音操作。

·斷電自鎖功能，斷電后仍保持位置穩定。

·可選質量補償模塊（MC1-MC4），負載能力提升至350g。

·兼容HV/UHV真空環境，熱耗散<5W，適合穩定納米定位。

XPS系列垂直位移臺核心參數表

型號

行程范圍 (mm)

驅動力（min)（N）

分辨率 (nm)

重復精度 (nm)

速度（max）(mm/s)

XVP-80

1250/312/78/5

±50(雙向) /±2500(雙向)

50/100

環境使用要求

工作溫度-30℃~+70℃

濕度要求20%-90% RH

XPS系列垂直位移臺

·定位：高負載、高速垂直運動平臺。

·核心特點：

·雙Crossfixx™電機并聯，驅動力達15 N（保持力30 N），負載能力2.5 kg。

·12V低電壓驅動，適合嵌入式系統集成。

·可選低磁/非磁軸承（-LM/-NM），減少磁場干擾。

關鍵選型建議：

5nm分辨率型號必須搭配XD-M控制器

UHV版本需指定無護套電纜和特殊連接器

超過100g負載建議采用MC1-4補償方案

·需納米級定位：選擇XVS-3-40-5-HV（5 nm分辨率，25 mm行程）。

·需高速大負載：選擇XVP-80-1250（1250 nm分辨率，1000 mm/s速度）

應用場景

·光學系統校準

·真空環境應用

·生物樣本操作

·生產線高速檢測
1000 mm/s掃描速度實現PCB板缺陷快速篩查。

·重型裝配
機器人末端執行器搬運2.5 kg光學元件（雙電機30N保持力防滑落）。

·醫療設備驅動

手術機械臂的垂直進給（12V低壓安全驅動，非磁軸承避免MRI干擾）。

高精度垂直壓電位移臺

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