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納米精度電動(dòng)平移臺(tái)。電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置，通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺(tái)、電機(jī)和控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

U-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)擁有*的特點(diǎn)。該平移臺(tái)是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺(tái)。 該平移臺(tái)采用無(wú)聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對(duì)于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號(hào)，可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺(tái)的Z大速度可達(dá)到400m

單軸壓電掃描臺(tái)/納米平移臺(tái)采用壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為運(yùn)動(dòng)副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無(wú)摩擦、無(wú)間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

超緊湊線性平移臺(tái)（亞微米）是集動(dòng)力系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一身的微機(jī)械系統(tǒng)。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個(gè)世界上Z小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動(dòng)、非接觸式磁感應(yīng)陣列位置傳感器和PID控制器。